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描述:玉崎供應(yīng) 愛(ài)發(fā)科ULVAC真空計(jì)傳感器頭WP-02傳感器單元(SP1)是G-TRAN系列的皮拉尼真空計(jì)測(cè)量單元?!笢y(cè)定子和電路一體型(測(cè)定子可以更換)」結(jié)構(gòu),能夠降低成本和節(jié)省空間
品牌 | ULVAC/日本愛(ài)發(fā)科 | 價(jià)格區(qū)間 | 5千-1萬(wàn) |
---|---|---|---|
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,電氣,綜合 |
玉崎供應(yīng) 愛(ài)發(fā)科ULVAC真空計(jì)傳感器頭WP-02
玉崎供應(yīng) 愛(ài)發(fā)科ULVAC真空計(jì)傳感器頭WP-02
傳感器規(guī)格:如果需要壓力
·空白計(jì)劃降低
·控制板空間節(jié)省
·配線簡(jiǎn)化
決定子交換更容易
燈絲采用耐腐蝕材料鉑
其中一個(gè)使用的測(cè)量組件(SP1:WP-01,02,03,16)稍后使用
可以輸出2個(gè)設(shè)定點(diǎn)
SP1:壓力為0至5 V輸出(非輸出)
電源電壓:24 VDC輸入
用于半導(dǎo)體?電子部件等各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于在線式?片葉式等工藝腔室多種的各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
類型 | 傳感器單元 |
模型 | SP1 |
兼容的傳感器頭 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
準(zhǔn)確性 | ±15 %(51 Pa ~760 Pa) |
±30 %(10 Pa ~1000 Pa) | |
±50 %(0.4 Pa ~3000 Pa) | |
工作溫度范圍 | 10~40℃ |
測(cè)量值輸出 | 非線性輸出:0至5VDC(最大10V) |
設(shè)定點(diǎn) 1/2 壓力設(shè)定調(diào)節(jié)監(jiān)視器 | 非線性輸出:0至5VDC(最大10V) |
控制輸出信號(hào) | 集電極開(kāi)路輸出,負(fù)邏輯 |
錯(cuò)誤信號(hào) | |
設(shè)定值 1/2 | |
LED顯示屏 | 功率、錯(cuò)誤、設(shè)定點(diǎn) 1、設(shè)定點(diǎn) 2 |
電源電壓 | DC24V±2V,90mA(最大) |
輸入/輸出連接器 | D-sub-15P(M2.6螺絲) |
重量 | 190克/0.41磅(不包括傳感器頭) |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 輸入/輸出連接器 1 個(gè) |
快速說(shuō)明書(shū) 1份 |
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