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描述:日本TORAY東麗用于半導(dǎo)體的氧氣分析儀LC-450D測(cè)量原理/選型/維護(hù)基礎(chǔ)
品牌 | TORAY/東麗 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子,電氣,綜合 |
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日本TORAY東麗用于半導(dǎo)體的氧氣分析儀LC-450D
日本TORAY東麗用于半導(dǎo)體的氧氣分析儀LC-450D
測(cè)量原理/選型/維護(hù)基礎(chǔ)
氧化鋯陶瓷的兩面均加工有電極,有在高溫下一側(cè)電極電離氧分子,另一側(cè)電極將氧離子還原成氧分子的特性。這種性質(zhì)稱為離子傳導(dǎo),離子傳導(dǎo)程度隨著氧化鋯陶瓷兩側(cè)氧濃度差的增大而增大。在此期間,電子在兩個(gè)電極之間交換,離子傳導(dǎo)的程度(=氧化鋯陶瓷兩側(cè)的氧濃度差)可以被提取為兩個(gè)電極之間的電動(dòng)勢(shì)的大小。如下圖所示,根據(jù)能斯特理論公式可以得到這個(gè)電動(dòng)勢(shì)的穩(wěn)定值,因此東麗氧化鋯傳感器可以提供穩(wěn)定可靠的氧氣濃度值。
由于氧氣濃度計(jì)內(nèi)部有電爐,因此不能在安裝氣氛為防爆的區(qū)域使用。
如果可燃?xì)怏w(如氫氣、甲烷、酒精、一氧化碳等)進(jìn)入氧氣計(jì)內(nèi)部,會(huì)發(fā)生燃燒反應(yīng),導(dǎo)致測(cè)量誤差。
有機(jī)二氧化硅(用于密封劑等)會(huì)導(dǎo)致傳感器劣化。(這是傳感器劣化的最常見原因之一。
鹵素(尤其是氯)會(huì)導(dǎo)致傳感器故障。
如果一氧化碳等熱值較高的物質(zhì)間歇性地混入傳感器中,則會(huì)接收熱歷史并導(dǎo)致傳感器故障。
如果混入大量Nox、Sox等腐蝕性氣體,會(huì)導(dǎo)致傳感器故障。
氟利昂氣體在高溫下可能會(huì)引起分離反應(yīng),導(dǎo)致傳感器劣化。
水滴、灰塵和霧氣可能會(huì)損壞傳感器、縮短其使用壽命并導(dǎo)致錯(cuò)誤。測(cè)量含有這些氣體的氣體時(shí),請(qǐng)?jiān)趯⑵淞魅胙鯕鉂舛扔?jì)之前先將其除去。購(gòu)買前請(qǐng)咨詢我們有關(guān)去除方法。
如果您在選擇型號(hào)時(shí)遇到困難,請(qǐng)參考下表。
目的 | 兼容型號(hào) | 解釋 | 其他選項(xiàng) |
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半導(dǎo)體、液晶、 電子元件 | MS-500 | 用于安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備等上,最多可測(cè)量8點(diǎn) | |
LC-450A | 兼容 ppm 級(jí)測(cè)量,交流電源類型 |
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LC-450D | 支持ppm級(jí)測(cè)量,DC電源類型 | ||
LC-860 | 兼容 ppb 級(jí)測(cè)量,交流電源類型 | ||
SD/LD-450 | 真空室安裝型(用于設(shè)備集成) | 交流電源裝置:DU-450 | |
燒成爐/ 氮?dú)饣亓骱? 廢氣 | RF-400 | 具有氧傳感器保護(hù)功能的烘烤爐/回流焊專用機(jī) |
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LC-750H/PC-111 | 內(nèi)置抽氣泵,適用于中高濃度污濁氣體 | ||
天然氣裝置/ 空氣分離 | LC-750H | 中/高濃度通用型 | |
LC-750H/PC-110 | 內(nèi)置抽氣泵,適用于中高濃度清潔氣體 | ||
LC-750L | 低濃度通用型 | ||
LC-750L/PC-120 | 內(nèi)置抽氣泵,適用于低濃度清潔氣體 | ||
真空沉積/ 密封爐/ 手套箱 | SD/LD-450 | 分離式傳感器/轉(zhuǎn)換器型、薄壁安裝轉(zhuǎn)換器 | 交流電源裝置:DU-450 |
食品包裝 | LC-450F | 用于充氣后取樣檢查(取樣探頭) |
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LC-750F | 用于充氣后取樣檢查(注射器) | ||
LF-200 | 用于安裝在氣體灌裝自動(dòng)包裝機(jī)上 |
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