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產(chǎn)品分類 / PRODUCT
到貨!京都玉崎深圳倉庫到貨日本愛發(fā)科ULVAC真空計SP1
11月深圳倉庫到貨,歡迎咨詢!
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10月底到貨深圳倉庫后,京都玉崎倉庫負責人王工對其驗貨,核對數(shù)量及質(zhì)量問
題安排入庫,再安排人員檢驗合格后,均已符合出廠要求,已經(jīng)發(fā)往上海的客戶。
產(chǎn)品介紹:
傳感器規(guī)格:如果不需要壓力指示器
?真空計成降低
?控制板空間節(jié)省
?配線簡化
測定子更換更容易
燈絲使用耐腐蝕材料鉑
到目前為止使用的測量部件(SP1:WP-01,02,03,16)仍在使用
可以輸出2個設(shè)定點
SP1:壓力為0至5 V輸出(非線性輸出)
電源電壓:24 VDC輸入
用于半導體?電子部件等各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于in-line式?枚葉式等工藝腔室多的各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
Type | Sensor unit |
Model | SP1 |
Compatible sensor head | WP-01, WP-02, WP-03, WP-16 |
Accuracy | ±15 %(51 Pa ~760 Pa) |
±30 %(10 Pa ~1000 Pa) | |
±50 %(0.4 Pa ~3000 Pa) | |
Operating temperature range | 10 ~ 40℃ |
Measurement value output | Nonlinear output: 0 to 5VDC (Max. 10V) |
Setpoint 1/2 Pressure setting adjustment monitor | Nonlinear output: 0 to 5VDC (Max. 10V) |
Control output signal | Open collector output, Negative logic |
ERROR signal | |
Setpoint 1/2 | |
LED display | Power, error, set point 1, set point 2 |
Power supply voltage | DC24V±2V, 90mA(Max.) |
Input/Output connector | D-sub-15P(M2.6 screw) |
Weight | 190g /0.41lb (Excluding sensor head) |
Standard accessories | Input/Output connector 1pc |
Quick manual 1pc |
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