膜厚計(jì)可分為接觸式、非接觸式、斷面觀(guān)察式三種。

1.接觸式膜厚計(jì)

在接觸式膜厚計(jì)中，傳感器部和膜厚計(jì)主體通過(guò)電纜連接，通過(guò)使傳感器部與測(cè)量對(duì)象物接觸來(lái)測(cè)量膜厚。接觸式膜厚計(jì)有電磁感應(yīng)式、過(guò)流式、超聲波式、觸針式等。它是最正統(tǒng)的膜厚計(jì)，根據(jù)性能的不同，可以以數(shù)萬(wàn)日元到20萬(wàn)日元的價(jià)格購(gòu)買(mǎi)。

接觸式膜厚計(jì)使用方便，通過(guò)將傳感器部分接觸到想要測(cè)量的物質(zhì)來(lái)顯示數(shù)值。但是，由于反應(yīng)速度因物質(zhì)而異，因此傳感器部分可能需要等待幾秒鐘才能反應(yīng)。當(dāng)使用接觸式膜厚計(jì)、電磁感應(yīng)式和過(guò)電流式時(shí)，需要根據(jù)形成測(cè)量目標(biāo)的基板來(lái)使用它們。

電磁感應(yīng)型用于鋼鐵等磁性材料，過(guò)電流型用于鋁、不銹鋼等非磁性材料。此外，還提供使用兩種方法進(jìn)行測(cè)量的雙型，并且通過(guò)雙型，可以測(cè)量磁性和非磁性材料。

2.非接觸式膜厚計(jì)

非接觸式膜厚計(jì)通過(guò)從膜厚計(jì)本身發(fā)射光并檢測(cè)從膜表面反射的光和穿透膜的光的波長(zhǎng)干涉作為光譜來(lái)測(cè)量膜厚?；旧?，它們用于人們無(wú)法觸及的地方，包括反射光譜型、紅外型、電容型和輻射型。由于檢測(cè)部分采用高精度半導(dǎo)體元件，因此比接觸式成本更高。

3.斷面觀(guān)察式膜厚計(jì)

截面觀(guān)察式膜厚計(jì)是TEM、SEM等電子顯微鏡。它用于測(cè)量無(wú)法使用接觸或非接觸方法測(cè)量的極小物質(zhì)。然而，它通常用于研究和技術(shù)開(kāi)發(fā)，很少在現(xiàn)場(chǎng)使用。